GB/T 4060-2018 硅多晶真空区熔基硼检验方法
GB/T 4060-2018
国家标准推荐性标准GB/T 4060-2018标准状态
- 发布于:2018-09-17
- 实施于:2019-06-01
- 废止
内容简介
国家标准《硅多晶真空区熔基硼检验方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了多晶硅中基硼含量的测试方法。本标准适用于在硅芯上沉积生长的多晶硅棒中基硼含量的测定。基硼含量(原子数)测定范围为0.01X1018cm-3~5X1015cm-3。
起草单位
江苏中能硅业科技发展有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、亚洲硅业(青海)有限公司、峨嵋半导体材料研究所、
起草人
胡伟、 刘晓霞、 王桃霞、 胡自强、 万烨、 杨旭、 耿全荣、鲁文锋、宗冰、肖建忠、
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