GB/T 17874-2010 电子工业用气体三氯化硼_标准下载

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GB/T 17874-2010 电子工业用气体三氯化硼

Gases for electronic industry - Boron trichloride

GB/T 17874-2010

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标准GB/T 17874-2010标准状态

发布于：2011-01-14
实施于：2011-05-01
废止

标准详情

标准名称：电子工业用气体三氯化硼
标准号：GB/T 17874-2010
中国标准分类号：G86
发布日期：2011-01-14
国际标准分类号：71.100.20
实施日期：2011-05-01
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
代替标准：代替GB/T 17874-1999被GB/T 17874-2021代替
主管部门：国家标准化管理委员会
标准分类：化工技术化工产品工业气体

内容简介

国家标准《电子工业用气体三氯化硼》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了三氯化硼的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以粗制三氯化硼为原料，采用吸附、精馏等方法提纯制得的三氯化硼，主要用于半导体器件生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。分子式：BCl3相对分子质量：117．1691(按2007年国际相对原子质量计算)。

起草单位

西南化工研究设计院、光明化工研究设计院、上海华爱色谱分析技术有限公司、

起草人

孙福楠、方华、庄鸿涛、周鹏云、

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