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GB/T 16943-2009 电子工业用气体 氦

GB/T 16943-2009 电子工业用气体 氦

Gas for electronic industry - Helium

GB/T 16943-2009

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标准GB/T 16943-2009标准状态

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标准详情

  • 标准名称：电子工业用气体 氦
  • 标准号：GB/T 16943-2009
    中国标准分类号：G86
  • 发布日期：2009-10-30
    国际标准分类号：71.100.20
  • 实施日期：2010-05-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：代替GB/T 16943-1997
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：化工技术化工产品工业气体

内容简介

国家标准《电子工业用气体 氦》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
u3000u3000本标准规定了氦的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 u3000u3000本标准适用于以深冷法从天然气、空气和工厂弛放气中提取的气态和液态氦，以及经纯化方法得到的氦。它们在半导体制照中用作清洗气、加压气，也用作载气和保护气等。

起草单位

西南油气田分公司成都天然气化工总厂、西南化工研究设计院、北京氦普北分气体工业有限公司、

起草人

刘泽军、 付永成、 赵俊秀、周鹏云、

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