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GB/T 14851-2009 电子工业用气体 磷化氢

GB/T 14851-2009 电子工业用气体 磷化氢

Gas for electronic industry - Phosphine

GB/T 14851-2009

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  • 标准名称：电子工业用气体 磷化氢
  • 标准号：GB/T 14851-2009
    中国标准分类号：G86
  • 发布日期：2009-10-30
    国际标准分类号：71.100.20
  • 实施日期：2010-05-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：代替GB/T 14851-1993
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：化工技术化工产品工业气体

内容简介

国家标准《电子工业用气体 磷化氢》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
u3000u3000本标准规定了电子工业用磷化氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 u3000u3000本标准适用于亚磷酸热分解、磷化物水解、单质磷与水或碱反应等方法获得并经精制得到的磷化氢产品。它主要用于半导体器件和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。

起草单位

中国计量科学研究院、大连光明化工研究院、西南化工研究设计院、

起草人

周泽义、 孙福楠、 周鹏云、

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