GB/T 32386-2015 电子工业用气体六氟化钨_标准下载

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GB/T 32386-2015 电子工业用气体六氟化钨

Gases for electronic industry—Tungsten hexaflouride

GB/T 32386-2015

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标准GB/T 32386-2015标准状态

发布于：2015-12-31
实施于：2016-07-01
废止

标准详情

标准名称：电子工业用气体六氟化钨
标准号：GB/T 32386-2015
中国标准分类号：G86
发布日期：2015-12-31
国际标准分类号：71.100.20
实施日期：2016-07-01
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
代替标准：
主管部门：国家标准化管理委员会
标准分类：化工技术化工产品工业气体

内容简介

国家标准《电子工业用气体六氟化钨》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了六氟化钨的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。本标准适用于化学合成法制取并经精制纯化的六氟化钨。该产品主要用于电子工业中金属钨化学气相沉积工艺、钨材料的制备等。分子式:WF6。分子量:297.830419 2(按2009年国际相对原子质量计算)。

起草单位

中国船舶重工集团公司第七一八研究所、西南化工研究设计院有限公司、上海仪盟电子科技有限公司、厦门钨业股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、

起草人

郑秋艳、江海风、林竹光、王志信、周鹏云、王占卫、方兰兰、方华、杨仁、

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