GB/T 26113-2010 微机电系统（MEMS）技术微几何量评定总则_标准下载

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GB/T 26113-2010 微机电系统（MEMS）技术微几何量评定总则

Micro-electromechanical system technology - General rules for the assessment of micro-geometrical parameters

GB/T 26113-2010

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标准GB/T 26113-2010标准状态

发布于：2011-01-10
实施于：2011-10-01
废止

标准详情

标准名称：微机电系统（MEMS）技术微几何量评定总则
标准号：GB/T 26113-2010
中国标准分类号：L55
发布日期：2011-01-10
国际标准分类号：31.200
实施日期：2011-10-01
技术归口：全国微机电技术标准化技术委员会
代替标准：
主管部门：国家标准化管理委员会
标准分类：电子学集成电路、微电子学

内容简介

国家标准《微机电系统（MEMS）技术微几何量评定总则》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了微几何量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。本标准适用于企业、研究机构、检测机构等从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测。

起草单位

中机生产力促进中心、天津大学、西安交通大学、中原工学院、

起草人

丁红宇、张苹、景蔚萱、刘伟、蒋庄德、

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