GB/T 25497-2010 吸气剂气体吸放性能测试方法
GB/T 25497-2010
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标准GB/T 25497-2010标准状态
- 发布于:2010-12-01
- 实施于:2011-05-01
- 废止
内容简介
国家标准《吸气剂气体吸放性能测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了吸气剂放气量的测试方法、掺氮吸气剂释氮吸气动态曲线的测试方法、释汞吸气剂放气回吸曲线的测试方法、定压法吸气性能测试方法、定容法吸气性能测试方法等吸气剂气体吸放性能测试方法。本标准适用于真空器件用吸气剂。
起草单位
南京华东赛斯真空材料有限公司、中国电子科技集团第十二研究所、工业和信息化部电子工业标准化研究所、
起草人
薛函迎、 张巨先、 郭卫斌、刘筠、
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