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GB/T 25497-2010 吸气剂气体吸放性能测试方法

GB/T 25497-2010 吸气剂气体吸放性能测试方法

Test methods for gas absorbency and release of getters

GB/T 25497-2010

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标准GB/T 25497-2010标准状态

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  • 标准名称:吸气剂气体吸放性能测试方法
  • 标准号:GB/T 25497-2010
    中国标准分类号:L90
  • 发布日期:2010-12-01
    国际标准分类号:31.030
  • 实施日期:2011-05-01
    技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准:代替GB/T 9506.7-1988,GB/T 9506.5-1988,GB/T 9506.4-1988,GB/T 6626.3-1986,GB/T 9506.8-1988
    主管部门:国家标准化管理委员会
  • 标准分类:电子学电子技术专用材料

内容简介

国家标准《吸气剂气体吸放性能测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了吸气剂放气量的测试方法、掺氮吸气剂释氮吸气动态曲线的测试方法、释汞吸气剂放气回吸曲线的测试方法、定压法吸气性能测试方法、定容法吸气性能测试方法等吸气剂气体吸放性能测试方法。本标准适用于真空器件用吸气剂。

起草单位

南京华东赛斯真空材料有限公司、中国电子科技集团第十二研究所、工业和信息化部电子工业标准化研究所、

起草人

薛函迎、 张巨先、 郭卫斌、刘筠、

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