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GB/T 32817-2016 半导体器件 微机电器件 MEMS总规范

GB/T 32817-2016 半导体器件 微机电器件 MEMS总规范

Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Generic specification for MEMS

GB/T 32817-2016

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  • 标准名称：半导体器件 微机电器件 MEMS总规范
  • 标准号：GB/T 32817-2016
    中国标准分类号：L55
  • 发布日期：2016-08-29
    国际标准分类号：31.080.99
  • 实施日期：2017-03-01
    技术归口：全国微机电技术标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：电子学半导体分立器件其他半导体分立器件

内容简介

国家标准《半导体器件 微机电器件 MEMS总规范》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准描述了用半导体制造的微机电系统（MEMS）的总规范，规定了用于IECQ-CECC体系质量评定的一般规程，给出了电、光、机械和环境特性的描述和测试的总则。 本标准适用于各类MEMS器件[如传感器、射频MEMS，但不包括光MEMS、生物MEMS、微全分析系统（Micro-TAS）和微能源MEMS]。 u3000u3000

起草单位

中机生产力促进中心、中北大学、大连理工大学、中国电子科技集团公司第十三研究所、南京理工大学、

起草人

李海斌、 崔波、 裘安萍、 施芹、 刘伟、石云波、杨拥军、刘冲、

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