GB/T 32814-2016 硅基MEMS制造技术基于SOI硅片的MEMS工艺规范_标准下载

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GB/T 32814-2016 硅基MEMS制造技术基于SOI硅片的MEMS工艺规范

Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the SOI wafer based MEMS process

GB/T 32814-2016

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标准GB/T 32814-2016标准状态

发布于：2016-08-29
实施于：2017-03-01
废止

标准详情

标准名称：硅基MEMS制造技术基于SOI硅片的MEMS工艺规范
标准号：GB/T 32814-2016
中国标准分类号：L55
发布日期：2016-08-29
国际标准分类号：31.200
实施日期：2017-03-01
技术归口：全国微机电技术标准化技术委员会
代替标准：
主管部门：国家标准化管理委员会
标准分类：电子学集成电路、微电子学

内容简介

国家标准《硅基MEMS制造技术基于SOI硅片的MEMS工艺规范》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了采用SOI硅片进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。本标准适用于硅基MEMS制造技术中基于S0I硅片的MEMS器件的加工和质量检验。

起草单位

西北工业大学、中机生产力促进中心、

起草人

苑伟政、谢建兵、马志波、常洪龙、李海斌、乔大勇、刘伟、

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