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GB/T 32816-2016 硅基MEMS制造技术以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范

Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the combination of the deep etching and bonding process

GB/T 32816-2016

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标准GB/T 32816-2016标准状态

发布于：2016-08-29
实施于：2017-03-01
废止

标准详情

标准名称：硅基MEMS制造技术以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范
标准号：GB/T 32816-2016
中国标准分类号：L55
发布日期：2016-08-29
国际标准分类号：31.200
实施日期：2017-03-01
技术归口：全国微机电技术标准化技术委员会
代替标准：
主管部门：国家标准化管理委员会
标准分类：电子学集成电路、微电子学

内容简介

国家标准《硅基MEMS制造技术以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了采用以深刻蚀与键合为核心的工艺集成进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。本标准适用于基于以深刻蚀与键合为核心的工艺集成的加工和质量检验。

起草单位

北京大学、大连理工大学、中机生产力促进中心、北京青鸟元芯微系统科技有限公司、

起草人

张大成、杨芳、何军、黄贤、邹赫麟、田大宇、李海斌、王玮、刘冲、刘伟、姜博岩、

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