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GB/T 20230-2022 磷化铟单晶

GB/T 20230-2022 磷化铟单晶

Indium phosphide single crystal

GB/T 20230-2022

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标准GB/T 20230-2022标准状态

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  • 标准名称：磷化铟单晶
  • 标准号：GB/T 20230-2022
    中国标准分类号：H83
  • 发布日期：2022-03-09
    国际标准分类号：29.045
  • 实施日期：2022-10-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：代替GB/T 20230-2006
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：电气工程半导体材料

内容简介

国家标准《磷化铟单晶》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本文件规定了磷化铟单晶的牌号、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和随行文件及订货单内容。本文件适用于制作光电、微电器件用的磷化铟单晶锭及磷化铟单晶抛光片。

起草单位

中国电子科技集团公司第十三研究所、广东先导微电子科技有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、云南鑫耀半导体材料有限公司、有研国晶辉新材料有限公司、

起草人

孙聂枫、 李晓岚、 惠峰、 李素青、 邵会民、 周铁军、 王博、 张晓丹、 王阳、刘惠生、朱刘、王书杰、史艳磊、付莉杰、姜剑、王宇、

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