GB/T 14603-1993 电子工业用气体三氟化硼_标准下载

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GB/T 14603-1993 电子工业用气体三氟化硼

Gases for electronic industry. Boron trifluoride

GB/T 14603-1993

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标准GB/T 14603-1993标准状态

发布于：1993-08-26
实施于：1994-07-01
废止

标准详情

标准名称：电子工业用气体三氟化硼
标准号：GB/T 14603-1993
中国标准分类号：G86
发布日期：1993-08-26
国际标准分类号：71.100.20
实施日期：1994-07-01
技术归口：全国半导体材料和设备标准化技术委员会
代替标准：被GB/T 14603-2009代替
主管部门：国家标准化管理委员会
标准分类：化工技术化工产品工业气体

内容简介

本标准规定了三氟化硼产品的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于以氟硼酸钠为原料，采用热分解法制得的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。分子式：BF3 相对分子质量：67.805（按1989年国际相对原子质量）

起草单位

化工部西南化工研究院

起草人

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