GB/T 15862-1995 离子注入机通用技术条件_标准下载

GB/T 15862-1995 离子注入机通用技术条件

Generic specification for ion implantation equipment

国家标准推荐性

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国家标准《离子注入机通用技术条件》由339-1（工业和信息化部（电子））归口，主管部门为工业和信息化部（电子）。
本标准规定了离子注入机的术语、产品分类、技术要求、试验、检验规则和标志、包装、运输、贮存。本标准适用于半导体工艺用电能离子注入机。其他离子注入机亦可参照使用。

电子工业部第四十八研究所、

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