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GB/T 17169-1997 硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法

GB/T 17169-1997 硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法

Test method for the surface quality of polished silicon wafers and epitaxial wafers by optical-reflection

GB/T 17169-1997

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标准GB/T 17169-1997标准状态

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  • 标准名称：硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法
  • 标准号：GB/T 17169-1997
    中国标准分类号：H24
  • 发布日期：1997-12-22
    国际标准分类号：29.045
  • 实施日期：1998-08-01
    技术归口：全国半导体材料和设备标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：电气工程半导体材料

内容简介

本标准规定了半导体硅抛光片和外延片表面常见缺陷的光反射无损检验方法。 本标准适用于半导体硅抛光片和外延片表面质量的无损检验。 本标准的检验结果与GB/T6624、GB/T14142的检验结果一致。

起草单位

南开大学、天津市半导体材料厂

起草人

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