GB/T 4059-2007 硅多晶气氛区熔基磷检验方法
GB/T 4059-2007
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标准GB/T 4059-2007标准状态
- 发布于:2007-09-11
- 实施于:2008-02-01
- 废止
内容简介
国家标准《硅多晶气氛区熔基磷检验方法》由610(中国有色金属工业协会)归口,主管部门为中国有色金属工业协会。
本标准适用于多晶硅沉积在硅芯上生长的多晶硅棒基磷的检验。本标准检测杂质浓度的有效范围:0.002×10-9~100×10-9。
起草单位
蛾眉半导体材料厂、
起草人
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