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GB/T 4059-2007 硅多晶气氛区熔基磷检验方法

GB/T 4059-2007 硅多晶气氛区熔基磷检验方法

Polycrystalline silicon - examination method - zone - melting on phosphorus under controlled atomosphere

GB/T 4059-2007

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  • 标准名称:硅多晶气氛区熔基磷检验方法
  • 标准号:GB/T 4059-2007
    中国标准分类号:H17
  • 发布日期:2007-09-11
    国际标准分类号:77.040.01
  • 实施日期:2008-02-01
    技术归口:中国有色金属工业协会
  • 代替标准:代替GB/T 4059-1983被GB/T 4059-2018代替
    主管部门:中国有色金属工业协会
  • 标准分类:冶金金属材料试验金属材料试验综合

内容简介

国家标准《硅多晶气氛区熔基磷检验方法》由610(中国有色金属工业协会)归口,主管部门为中国有色金属工业协会。
本标准适用于多晶硅沉积在硅芯上生长的多晶硅棒基磷的检验。本标准检测杂质浓度的有效范围:0.002×10-9~100×10-9。

起草单位

蛾眉半导体材料厂、

起草人

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