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GB/T 12963-2009 硅多晶

GB/T 12963-2009 硅多晶

Specification for polycrystalline silicon

GB/T 12963-2009

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标准GB/T 12963-2009标准状态

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标准详情

  • 标准名称：硅多晶
  • 标准号：GB/T 12963-2009
    中国标准分类号：H82
  • 发布日期：2009-10-30
    国际标准分类号：29.045
  • 实施日期：2010-06-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：代替GB/T 12963-1996被GB/T 12963-2014代替
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：电气工程半导体材料

内容简介

国家标准《硅多晶》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
u3000u3000本标准规定了硅多晶的产品分类?﹑技术要求﹑试验方法﹑检验规则以及标志﹑运输﹑贮存。 u3000u3000本标准适用于以三氯氢硅或四氯化硅用氢还原法制得的硅多晶。

起草单位

峨眉半导体材料厂、

起草人

罗莉萍、 张辉坚、 王炎、

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