当前位置:标准网 国家标准

GB/T 40129-2021 表面化学分析 二次离子质谱 飞行时间二次离子质谱仪质量标校准

GB/T 40129-2021 表面化学分析 二次离子质谱 飞行时间二次离子质谱仪质量标校准

Surface chemical analysis—Secondary ion mass spectrometry—Calibration of the mass scale for a time-of-flight secondary ion mass spectrometer

GB/T 40129-2021

国家标准推荐性
收藏 报错

标准GB/T 40129-2021标准状态

  1. 发布于:
  2. 实施于:
  3. 废止

标准详情

  • 标准名称:表面化学分析 二次离子质谱 飞行时间二次离子质谱仪质量标校准
  • 标准号:GB/T 40129-2021
    中国标准分类号:G04
  • 发布日期:2021-05-21
    国际标准分类号:71.040.40
  • 实施日期:2021-12-01
    技术归口:全国微束分析标准化技术委员会
  • 代替标准:
    主管部门:国家标准化管理委员会
  • 标准分类:化工技术分析化学化学分析

内容简介

国家标准《表面化学分析 二次离子质谱 飞行时间二次离子质谱仪质量标校准》由TC38(全国微束分析标准化技术委员会)归口,TC38SC2(全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
本文件描述了一种用于优化一般分析目的的飞行时间二次离子质谱(SIMS)仪器的质量校准准确度的方法。本文件仅适用于飞行时间仪器,但并不限于任何特定的仪器设计。本文件提供了对一些仪器参数优化的指导,这些参数能使用此程序进行优化,还提供了适用于校准质量标以获得最佳质量准确度的一般峰的类型。

起草单位

中山大学、

起草人

陈建、 谢方艳、 杨皓、 张浩、 龚力、杨慕紫、张卫红、

相近标准

20232366-T-469 表面化学分析 二次离子质谱 单离子计数飞行时间质谱分析器的强度标线性
20213227-T-469 表面化学分析 二次离子质谱 静态二次离子质谱相对强度标的重复性和一致性
20232769-T-469 表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度
GB/T 25186-2010 表面化学分析 二次离子质谱 - 由离子注入参考物质确定相对灵敏度因子
GB/T 40109-2021 表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法
GB/T 32495-2016 表面化学分析 二次离子质谱 硅中砷的深度剖析方法
YY/T 1740.2-2021 医用质谱仪 第2部分:基质辅助激光解吸电离飞行时间质谱仪
SJ/T 11493-2015 硅衬底中氮浓度的二次离子质谱测量方法
SJ/T 11498-2015 重掺硅衬底中氧浓度的二次离子质谱测量方法
GB/T 22572-2008 表面化学分析 二次离子质谱 用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法

* 特别声明:资源收集自网络或用户上传,版权归原作者所有,如侵犯您的权益,请联系我们处理。

  • 标准质量:
  • 下载说明

  • ① 欢迎分享本站未收录或质量优于本站的标准,期待。
    ② 标准出现数据错误、过期或其它问题请点击下方「在线纠错」通知我们,感谢!
    ③ 本站资源均来源于互联网,仅供网友学习交流,若侵犯了您的权益,请联系我们予以删除。