GB/T 29732-2021 表面化学分析 中等分辨俄歇电子能谱仪 元素分析用能量标校准
GB/T 29732-2021
国家标准推荐性标准GB/T 29732-2021标准状态
- 发布于:2021-12-31
- 实施于:2022-07-01
- 废止
内容简介
国家标准《表面化学分析 中等分辨俄歇电子能谱仪 元素分析用能量标校准》由TC38(全国微束分析标准化技术委员会)归口,TC38SC2(全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
本文件规定了俄歇电子能谱仪动能能量标不确定度为3 eV时的校准方法,用于识别表面常规元素。另外,本文件还规定了一种用于确定校准周期的方法。本文件适用于直接模式或微分模式的仪器分辨率小于或等于0.5%,微分模式调制幅度的峰值为2eV,配有惰性气体离子枪或其他样品清洁方法,具有4 keV或更高束能电子枪的谱仪。
起草单位
清华大学、中国石油大学(北京)、
起草人
姚文清、 杨立平、 段建霞、 李展平、 徐同广、王雅君、
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