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GB/T 4061-1983 硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法

GB/T 4061-1983 硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法

Polycrystalline silicon--Examination method--Assessment of sandwiches on cross-section by chemical corrosion

GB/T 4061-1983

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标准GB/T 4061-1983标准状态

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  • 标准名称：硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法
  • 标准号：GB/T 4061-1983
    中国标准分类号：H25
  • 发布日期：1983-12-20
    国际标准分类号：77.040.30
  • 实施日期：1984-12-01
    技术归口：全国半导体材料和设备标准化技术委员会
  • 代替标准：被GB/T 4061-2009代替
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：冶金金属材料试验金属材料化学分析

内容简介

本标准适用于三氯氢硅及四氯化硅氢还原在细硅芯上沉积硅多晶所生长出来的硅多晶棒。

起草单位

峨嵋半导体材料厂

起草人

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