GB/T 23611-2023 金及金合金靶材
GB/T 23611-2023
国家标准推荐性标准GB/T 23611-2023标准状态
- 发布于:2023-08-06
- 实施于:2024-03-01
- 废止
内容简介
国家标准《金及金合金靶材》由TC243(全国有色金属标准化技术委员会)归口,TC243SC5(全国有色金属标准化技术委员会贵金属分会)执行,主管部门为中国有色金属工业协会。
本文件规定了金及金合金靶材的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。本文件适用于半导体电子器件用金及金合金靶材(以下简称“靶材”。
起草单位
有研亿金新材料有限公司、贵研铂业股份有限公司、有研资源环境技术研究院(北京)有限公司、北京有色金属与稀土应用研究所有限公司、紫金矿业集团黄金冶炼有限公司、深圳市众城达应用材料科技有限公司、
起草人
罗瑶、 吕保国、 黄晓猛、 窦程亮、 段华英、 刘满门、 林烽先、 吴卫煌、 江轩、王鹏、关静、罗远辉、朱武勋、张博厚、黄勇彪、
相近标准
GB/T 23611-2009 金靶材
GB/T 28016-2011 金合金首饰 金含量的测定 重量法
GB/T 9288-2019 金合金首饰 金含量的测定 灰吹法(火试金法)
20232209-T-610 银靶材
20220333-T-610 高纯镍靶材
YS/T 1025-2015 电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材
20220979-T-610 氧化铟锡靶材
20221008-T-610 氧化锌铝靶材
GB/T 39157-2020 靶材技术成熟度等级划分及定义
YS/T 935-2013 电子薄膜用高纯金属溅射靶材纯度等级及杂质含量分析和报告标准指南
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