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GB/T 42674-2023 光学功能薄膜 微结构厚度测试方法

GB/T 42674-2023 光学功能薄膜 微结构厚度测试方法

Optical functional films—Measurement method for microstructure thickness

GB/T 42674-2023

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标准GB/T 42674-2023标准状态

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  • 标准名称：光学功能薄膜 微结构厚度测试方法
  • 标准号：GB/T 42674-2023
    中国标准分类号：G15
  • 发布日期：2023-08-06
    国际标准分类号：71.080.99
  • 实施日期：2024-03-01
    技术归口：全国光学功能薄膜材料标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：中国石油和化学工业联合会
  • 标准分类：化工技术有机化学其他有机化学品

内容简介

国家标准《光学功能薄膜 微结构厚度测试方法》由TC431（全国光学功能薄膜材料标准化技术委员会）归口，主管部门为中国石油和化学工业联合会。
本文件描述了通过扫描电子显微镜（SEM）检测光学功能薄膜（以下简称薄膜）横截面微结构厚度（以下简称横截面厚度）的方法。本文件适用于厚度不小于50nm的光学功能薄膜的单层或多层结构的厚度测试。

起草单位

中国乐凯集团有限公司、衡山县佳诚新材料有限公司、深圳市纵横标准技术有限公司、东莞市光志光电有限公司、合肥乐凯科技产业有限公司、浙江耀阳新材料科技有限公司、凯鑫森（上海）功能性薄膜产业股份有限公司、

起草人

夏江南、 高建辉、 田坤、 韩明星、 刘玉磊、 刘文亮、 赵建明、 曹建、 姜宁、赵朔、程媛、李宗、姚一凡、李文沾、周鹏、罗惠滨、

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