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GB/T 29851-2013 光伏电池用硅材料中B、Al受主杂质含量的二次离子质谱测量方法

GB/T 29851-2013 光伏电池用硅材料中B、Al受主杂质含量的二次离子质谱测量方法

Test method for measuring Boron and Aulminium in silicon materials used for photovoltaic applications by secondary ion mass spectrometry

GB/T 29851-2013

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  • 标准名称：光伏电池用硅材料中B、Al受主杂质含量的二次离子质谱测量方法
  • 标准号：GB/T 29851-2013
    中国标准分类号：H82
  • 发布日期：2013-11-12
    国际标准分类号：29.045
  • 实施日期：2014-04-15
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：电气工程半导体材料

内容简介

国家标准《光伏电池用硅材料中B、Al受主杂质含量的二次离子质谱测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了用二次离子质谱仪（SIMS）测定光伏电池用硅材料中硼和铝含量的方法。 本标准适用于光伏电池用硅材料中受主杂质硼和铝含量的定量分析，其中硼和铝的浓度均大于1×1013atoms/cm3。其它受主杂质的测量也可参照本标准。

起草单位

信息产业专用材料质量监督检验中心、国家电子功能与辅助材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、天津市环欧半导体材料技术有限公司、

起草人

何友琴、 马农农、 裴会川、 冯亚彬、 王东雪、何秀坤、

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