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GB/T 24577-2009 热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物

GB/T 24577-2009 热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物

Test methods for analyzing organic contaminants on silicon wafer surfaces by thermal desorption gas chromatography

GB/T 24577-2009

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标准GB/T 24577-2009标准状态

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  • 标准名称：热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物
  • 标准号：GB/T 24577-2009
    中国标准分类号：H80
  • 发布日期：2009-10-30
    国际标准分类号：29.045
  • 实施日期：2010-06-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：电气工程半导体材料

内容简介

国家标准《热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了硅片表面的有机污染物的定性和定量方法,采用气质联用仪或磷选择检测器或者两者同时采用。

起草单位

信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所、

起草人

王奕、 褚连青、 李静、

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