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GB/T 43915-2024 纳米几何量标准样板测试方法

GB/T 43915-2024 纳米几何量标准样板测试方法

Testing method for nano geometric standard samples

GB/T 43915-2024

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  • 标准名称：纳米几何量标准样板测试方法
  • 标准号：GB/T 43915-2024
    中国标准分类号：J42
  • 发布日期：2024-04-25
    国际标准分类号：17.040.30
  • 实施日期：2024-11-01
    技术归口：全国量具量仪标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：中国机械工业联合会
  • 标准分类：计量学和测量、物理现象长度和角度测量测量仪器仪表

内容简介

国家标准《纳米几何量标准样板测试方法》由TC132（全国量具量仪标准化技术委员会）归口，主管部门为中国机械工业联合会。
本文件规定了纳米几何量标准样板测试方法的分类及原理、测试设备、测试环境、测试程序及测试数据处理。本文件适用于线间隔为50 nm~100 nm的纳米线间隔标准样板、线宽为20 nm~100 nm的纳米线宽标准样板、台阶高度为10 nm~100 nm的纳米台阶高度标准样板和薄膜厚度为2 nm~100 nm的纳米膜厚标准样板的测试。

起草单位

中国电子科技集团公司第十三研究所、中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所、同济大学、中国计量科学研究院、中国测试技术研究院、成都工具研究所有限公司、上海市计量测试技术研究院、天津大学、广西壮族自治区计量检测研究院、苏州天准科技股份有限公司、

起草人

吴爱华、 付兴昌、 邹学锋、 韩志国、 冯亚南、 梁法国、 朱振宇、 李强、 傅云霞、 曾艳华、 刘庆纲、 张恒、 冉庆、 曹葵康、 李锁印、许晓青、赵琳、张晓东、许刚、何宜鲜、万宇、雷李华、管钰晴、邓晓、施玉书、苏翼雄、

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