GB/T 34326-2017 表面化学分析深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度测量方法_标准下载

GB/T 34326-2017 表面化学分析深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度测量方法

Surface chemical analysis—Depth profiling—Methods for ion beam alignment and the associated measurement of current or current density for depth profiling in AES and XPS

GB/T 34326-2017

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标准GB/T 34326-2017标准状态

发布于：2017-09-29
实施于：2018-08-01
废止

标准详情

标准名称：表面化学分析深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度测量方法
标准号：GB/T 34326-2017
中国标准分类号：G04
发布日期：2017-09-29
国际标准分类号：71.040.40
实施日期：2018-08-01
技术归口：全国微束分析标准化技术委员会
代替标准：
主管部门：国家标准化管理委员会
标准分类：化工技术分析化学化学分析

内容简介

国家标准《表面化学分析深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度测量方法》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了在俄歇电子能谱（AES）和X射线光电子能谱（XPS）中使用惰性气体离子以保证溅射深度剖析具有好的深度分辨率以及最佳表面清洁效果而采取的离子束对准方法。这些方法分为两类：一类通过法拉第杯测量离子束流，另一类通过成像方法。法拉第杯方法也规定了离子束束流密度和束流分布的测量。这些方法不包括深度分辨率的优化。这些方法均适用于束斑直径小于1mm的离子枪。

起草单位

中国计量科学院、

起草人

王海、王梅玲、张艾蕊、宋小平、

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