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GB/T 34971-2017 半导体制造用气体处理指南

GB/T 34971-2017 半导体制造用气体处理指南

Guide for gaseous effluent handling in semiconductor industry

GB/T 34971-2017

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标准GB/T 34971-2017标准状态

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  • 标准名称：半导体制造用气体处理指南
  • 标准号：GB/T 34971-2017
    中国标准分类号：G86
  • 发布日期：2017-11-01
    国际标准分类号：71.040.40
  • 实施日期：2018-02-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：化工技术分析化学化学分析

内容简介

国家标准《半导体制造用气体处理指南》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了半导体制造用气体排放系统的原理及技术。本标准适用于半导体制造用气体的处理。

起草单位

中昊光明化工研究设计院有限公司、高麦仪器公司、东莞市联臣电子科技有限公司、上海市计量测试技术研究院、西南化工研究设计院有限公司、广东华特气体股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、

起草人

孙福楠、 牛艳东、 王鸿、 方华、 廖恒易、杜汉盛、陈鹰、周鹏云、

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