当前位置：标准网 国家标准

GB/T 34972-2017 电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

GB/T 34972-2017 电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

Determination of metal content in gases—Inductively coupled plasma mass spectrometry method

GB/T 34972-2017

国家标准推荐性
收藏 报错

标准GB/T 34972-2017标准状态

  1. 发布于：
  2. 实施于：
  3. 废止

标准详情

  • 标准名称：电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
  • 标准号：GB/T 34972-2017
    中国标准分类号：G86
  • 发布日期：2017-11-01
    国际标准分类号：71.040.40
  • 实施日期：2018-02-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：化工技术分析化学化学分析

内容简介

国家标准《电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了应用电感耦合等离子体质谱仪测定电子工业用气体中金属元素含量的方法。金属元素测定范围见表1。本标准适用的电子工业用气体种类:氧、氮、氩、氦、氢、氨、氯化氢、硅烷、高纯氯、六氟化硫、三氯化硼、三氟化氮、氧化亚氮、六氟乙烷、六氟丁二烯等气体。本标准适用的电子工业用气体取样状态:气态。

起草单位

上海市计量测试技术研究院、高麦仪器公司、北京华宇同方化工科技开发有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、西南化工研究设计院有限公司、广东华特气体股份有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、

起草人

陈鹰、 姜阳、 傅铸红、 杜汉盛、 方华、 常侠、 周鹏云、牛艳东、江罗、许军洲、

相近标准

SJ/T 11555-2015 用电感耦合等离子体质谱法测定硝酸中金属元素的含量
20213462-T-607 洗涤剂中磷含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
GB/T 42240-2022 纳米技术 石墨烯粉体中金属杂质的测定 电感耦合等离子体质谱法
SN/T 4240-2015 电子电气产品 金属部件表面镀镍层中铅、镉含量测定 电感耦合等离子体质谱法
DB43/T 2794-2023 渔业水体中砷的形态测定 高效液相色谱-电感耦合等离子体质谱法
HJ 766－2015 固体废物 金属元素的测定 电感耦合等离子体质谱法
20214824-T-605 铁矿石 金、银、铂、钯含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
DB37/T 4494—2022 海洋生物体中主要重金属元素的测定 电感耦合等离子体发射光谱法
SN/T 3154-2012 出口藻类植物中碘含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
HJ 657－2013 空气和废气 颗粒物中铅等金属元素的测定 电感耦合等离子体质谱法

* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，版权归原作者所有，如侵犯您的权益，请联系我们处理。

  • 标准质量：

    • 下载说明

  • ① 欢迎分享本站未收录或质量优于本站的标准，期待。
    ② 标准出现数据错误、过期或其它问题请点击下方「在线纠错」通知我们，感谢！
    ③ 本站资源均来源于互联网，仅供网友学习交流，若侵犯了您的权益，请联系我们予以删除。
  • 在线纠错
    • 标准过期 下载问题 模糊有误 其它问题

    「相关推荐」