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GB/T 36401-2018 表面化学分析 X射线光电子能谱 薄膜分析结果的报告

GB/T 36401-2018 表面化学分析 X射线光电子能谱 薄膜分析结果的报告

Surface chemical analysis—X-ray photoelectron spectroscopy—Reporting of results of thin-film analysis

GB/T 36401-2018

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标准GB/T 36401-2018标准状态

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  • 标准名称：表面化学分析 X射线光电子能谱 薄膜分析结果的报告
  • 标准号：GB/T 36401-2018
    中国标准分类号：G04
  • 发布日期：2018-06-07
    国际标准分类号：71.040.40
  • 实施日期：2019-05-01
    技术归口：全国微束分析标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：化工技术分析化学化学分析

内容简介

国家标准《表面化学分析 X射线光电子能谱 薄膜分析结果的报告》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准给出了采用XPS对基材上薄膜的分析报告所需的最少信息量要求的说明。这些分析涉及化学组成和均匀薄膜厚度的测量，以及采用变角XPS、XPS溅射深度剖析、峰形分析和可变光子能量XPS的方式对非均匀薄膜作为深度函数的化学组成的测量。

起草单位

厦门荷清教育咨询有限公司、清华大学化学系、

起草人

汤丁亮、 李展平、 刘芬、 王水菊、 岑丹霞、姚文清、

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