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GB/T 36653-2018 电子级三甲基铝

GB/T 36653-2018 电子级三甲基铝

Electronic grade trimethylaluminium

GB/T 36653-2018

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标准GB/T 36653-2018标准状态

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  • 标准名称：电子级三甲基铝
  • 标准号：GB/T 36653-2018
    中国标准分类号：G86
  • 发布日期：2018-09-17
    国际标准分类号：71.100.20
  • 实施日期：2019-01-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：化工技术化工产品工业气体

内容简介

国家标准《电子级三甲基铝》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了三甲基铝的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、储存和安全。本标准适用于烷基交换法、钠还原法三种化学合成法制备并经精制纯化的三甲基铝。该产品主要用于生长化合物半导体薄膜材料等。分子式：C3H9Al相对分子质量：72.09（按2013年国际相对原子质量计算）

起草单位

江苏南大光电材料股份有限公司、中国电子技术标准化研究院、

起草人

陈化冰、 孙明璐、 王香、曹可慰、

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