当前位置：标准网 国家标准

GB/T 16596-2019 确定晶片坐标系规范

GB/T 16596-2019 确定晶片坐标系规范

Specification for establishing a wafer coordinate system

GB/T 16596-2019

国家标准推荐性
收藏 报错

标准GB/T 16596-2019标准状态

  1. 发布于：
  2. 实施于：
  3. 废止

标准详情

  • 标准名称：确定晶片坐标系规范
  • 标准号：GB/T 16596-2019
    中国标准分类号：H80
  • 发布日期：2019-03-25
    国际标准分类号：29.045
  • 实施日期：2020-02-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：代替GB/T 16596-1996
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：电气工程半导体材料

内容简介

国家标准《确定晶片坐标系规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了使用直角坐标和极坐标建立晶片正面坐标系、背面坐标系和三维坐标系的程序。本标准适用于有图形和无图形的晶片坐标系的建立。该坐标系用于确定和记录晶片上的缺陷、颗粒等测试结果的准确位置。

起草单位

有色金属技术经济研究院、浙江海纳半导体有限公司、上海合晶硅材料有限公司、有研半导体材料有限公司、浙江省硅材料质量检验中心、

起草人

卢立延、 孙燕、 楼春兰、 胡金枝、 潘金平、杨素心、李素青、

相近标准

YS/T 986-2014 晶片正面系列字母数字标志规范
GB/T 16595-2019 晶片通用网格规范
GB/T 28584-2012 城市坐标系统建设规范
20194111-T-339 声表面波器件用单晶晶片 规范与测量方法
20141892-T-469 晶片承载器传输并行接口要求
20231113-T-469 半导体晶片直径测试方法
20231108-T-469 碳化硅单晶片微管密度测试方法
GB/T 42042-2022 空间站坐标系
GB/T 30112-2013 月球空间坐标系
20231112-T-469 碳化硅单晶片厚度和平整度测试方法

* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，版权归原作者所有，如侵犯您的权益，请联系我们处理。

  • 标准质量：

    • 下载说明

  • ① 欢迎分享本站未收录或质量优于本站的标准，期待。
    ② 标准出现数据错误、过期或其它问题请点击下方「在线纠错」通知我们，感谢！
    ③ 本站资源均来源于互联网，仅供网友学习交流，若侵犯了您的权益，请联系我们予以删除。
  • 在线纠错
    • 标准过期 下载问题 模糊有误 其它问题

    「相关推荐」