GB/T 37466-2019 氮化镓激光剥离设备_标准下载

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GB/T 37466-2019 氮化镓激光剥离设备

Laser lift-off equipment used for GaN

GB/T 37466-2019

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标准GB/T 37466-2019标准状态

发布于：2019-06-04
实施于：2019-10-01
废止

标准详情

标准名称：氮化镓激光剥离设备
标准号：GB/T 37466-2019
中国标准分类号：L95
发布日期：2019-06-04
国际标准分类号：31-550
实施日期：2019-10-01
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
代替标准：
主管部门：国家标准化管理委员会
标准分类：电子学电子产品生产设备

内容简介

国家标准《氮化镓激光剥离设备》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了氮化镓激光剥离设备(以下简称“激光剥离设备”)的产品分类和标记、工作条件、要求、检测方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于利用激光方法将蓝宝石衬底生长的氮化镓(GaN）基外延层进行剥离的设备，氮化铝激光剥离设备可参考本标准。

起草单位

东莞市中镓半导体科技有限公司、中国电子技术标准化研究院、

起草人

孙永健、刘鹏、汪青、丁晓民、冯亚彬、

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