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GB/T 15871-1995 硬面光掩模基板

GB/T 15871-1995 硬面光掩模基板

Hard surface photomask substrates

GB/T 15871-1995

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标准GB/T 15871-1995标准状态

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  • 标准名称：硬面光掩模基板
  • 标准号：GB/T 15871-1995
    中国标准分类号：L97
  • 发布日期：1995-12-22
    国际标准分类号：31.030
  • 实施日期：1996-08-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：电子学电子技术专用材料

内容简介

国家标准《硬面光掩模基板》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了硬面光掩模用玻璃基板的要求、试验方法、检验规则等内容。 本标准适用于硬面光掩模用玻璃基板（以下简称基板）。

起草单位

长沙韶光微电子总公司、

起草人

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