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GB/T 16524-1996 光掩模对准标记规范

GB/T 16524-1996 光掩模对准标记规范

Specification for registration marks for photomasks

GB/T 16524-1996

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标准GB/T 16524-1996标准状态

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标准详情

  • 标准名称：光掩模对准标记规范
  • 标准号：GB/T 16524-1996
    中国标准分类号：L95
  • 发布日期：1996-09-09
    国际标准分类号：31.200
  • 实施日期：1997-05-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：电子学集成电路、微电子学

内容简介

国家标准《光掩模对准标记规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本规范规定了所有光掩模上使用的对准标记的形状、尺寸范围和一般位置。 本规范适用于光掩模。

起草单位

中国科学院微电子中心、

起草人

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