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GB/T 38447-2020 微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法

GB/T 38447-2020 微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法

Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration

GB/T 38447-2020

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标准GB/T 38447-2020标准状态

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  • 标准名称：微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法
  • 标准号：GB/T 38447-2020
    中国标准分类号：L55
  • 发布日期：2020-03-06
    国际标准分类号：31.200
  • 实施日期：2020-07-01
    技术归口：全国微机电技术标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：电子学集成电路、微电子学

内容简介

国家标准《微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了MEMS结构共振疲劳试验的试验方法，包括设备、试验环境、样品要求、试验条件和试验步骤。本标准适用于MEMS结构的共振疲劳试验。

起草单位

北京大学、北京智芯传感科技有限公司、浙江博亚精密机械有限公司、北京必创科技股份有限公司、中机生产力促进中心、沈阳国仪检测技术有限公司、中北大学、

起草人

张威、 张亚婷、 朱悦、 石云波、 周浩楠、 陈得民、 于振毅、陆学贵、李海斌、程逸轩、

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