GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法_标准下载

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GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法

Test method for the surface roughness by atomic force microscope for sputtered thin films

GB/T 31227-2014

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标准GB/T 31227-2014标准状态

发布于：2014-09-30
实施于：2015-04-15
废止

标准详情

标准名称：原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法
标准号：GB/T 31227-2014
中国标准分类号：J04
发布日期：2014-09-30
国际标准分类号：17.040.20
实施日期：2015-04-15
技术归口：全国纳米技术标准化技术委员会
代替标准：
主管部门：中国科学院
标准分类：计量学和测量、物理现象长度和角度测量表面特征

内容简介

国家标准《原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法》由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口，主管部门为中国科学院。
本标准规定了使用原子力显微镜(AFM)测量表面粗糙度的方法本标准适用于测量溅射成膜方法生成的、平均粗糙度Ra小于100nm的薄膜。其他非溅射薄膜的表面粗糙度的测量可以参考此方法。

起草单位

上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心、

起草人

李慧琴、梁齐、张冰、路庆华、何丹农、

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