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GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法

GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法

Test method for the surface roughness by atomic force microscope for sputtered thin films

GB/T 31227-2014

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标准GB/T 31227-2014标准状态

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  • 标准名称：原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法
  • 标准号：GB/T 31227-2014
    中国标准分类号：J04
  • 发布日期：2014-09-30
    国际标准分类号：17.040.20
  • 实施日期：2015-04-15
    技术归口：全国纳米技术标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：中国科学院
  • 标准分类：计量学和测量、物理现象长度和角度测量表面特征

内容简介

国家标准《原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法》由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口，主管部门为中国科学院。
本标准规定了使用原子力显微镜(AFM)测量表面粗糙度的方法本标准适用于测量溅射成膜方法生成的、平均粗糙度Ra小于100nm的薄膜。其他非溅射薄膜的表面粗糙度的测量可以参考此方法。

起草单位

上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心、

起草人

李慧琴、 梁齐、 张冰、 路庆华、何丹农、

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