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GB/T 38341-2019 微机电系统（MEMS）技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法

GB/T 38341-2019 微机电系统（MEMS）技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法

Micro-electromechanical system technology—The reliability test methods of MEMS in integrated environments

GB/T 38341-2019

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标准GB/T 38341-2019标准状态

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  • 标准名称：微机电系统（MEMS）技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法
  • 标准号：GB/T 38341-2019
    中国标准分类号：L55
  • 发布日期：2019-12-31
    国际标准分类号：31.200
  • 实施日期：2020-04-01
    技术归口：全国微机电技术标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：电子学集成电路、微电子学

内容简介

国家标准《微机电系统（MEMS）技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了MEMS器件可靠性综合环境的试验方法和失效结果处理。本标准适用于需要进行可靠性试验的MEMS器件。

起草单位

东南大学、佛山市川东磁电股份有限公司、浙江博亚精密机械有限公司、无锡华润上华科技有限公司、中北大学、北京必创科技股份有限公司、华为技术有限公司、中机生产力促进中心、沈阳国仪检测技术有限公司、北京大学、中国科学院电子学研究所、

起草人

王磊、 黄创君、 朱悦、 夏长奉、 石云波、 李海斌、 张威、 程逸轩、 于振毅、陆学贵、黄庆安、龙克文、肖昆辉、郑凤杰、马书嫏、陈得民、

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