GB/T 40417-2021 电子特气 六氟丁二烯
GB/T 40417-2021
国家标准推荐性标准GB/T 40417-2021标准状态
- 发布于:2021-08-20
- 实施于:2022-03-01
- 废止
内容简介
国家标准《电子特气 六氟丁二烯》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC1(全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
本文件规定了六氟丁二烯的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输及贮存的要求。本文件适用于由工业六氟丁二烯提纯制备的电子级六氟丁二烯。
起草单位
浙江省化工研究院有限公司、昊华气体有限公司、衢州氟硅技术研究院、广东华特气体股份有限公司、江西华特电子化学品有限公司、上海申南特种气体有限公司、大连大特气体有限公司、联雄投资(上海)有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司、中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司、中化蓝天氟材料有限公司、福建久策气体股份有限公司、天津绿菱气体有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、和立气体(上海)有限公司、西南化工研究设计院有限公司、西南化工研究设计院有限公司双流分公司、
起草人
史婉君、 张建君、 付梦月、 侯玲玲、 谭慧、 何经余、 陈艳珊、 马建修、 王新喜、 孙猛、 方华、 于庆伟、 黄辉、 宫兵、 李阳、 梁永强、 吴克安、 白占旗、 徐龙、 曹元洪、 李翔宇、郭君、褚人财、李霞、曹素英、傅铸红、曹小林、杨俊豪、陈洁、吴靓、何波、唐中伟、王大为、易达文、梁成科、高静、鬲春利、谭依玲、周鹏云、陈凯、
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