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GB/T 40418-2021 电子特气 氟甲烷

GB/T 40418-2021 电子特气 氟甲烷

Electronic specialty gas—Fluoromethane

GB/T 40418-2021

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标准GB/T 40418-2021标准状态

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标准详情

  • 标准名称：电子特气 氟甲烷
  • 标准号：GB/T 40418-2021
    中国标准分类号：G86
  • 发布日期：2021-08-20
    国际标准分类号：71.100.20
  • 实施日期：2022-03-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：化工技术化工产品工业气体

内容简介

国家标准《电子特气 氟甲烷》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本文件规定了电子级氟甲烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输及贮存的要求。本文件适用于由工业氟甲烷提纯制备的电子级氟甲烷。

起草单位

浙江省化工研究院有限公司、中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司、中化蓝天氟材料有限公司、广东华特气体股份有限公司、江西华特电子化学品有限公司、上海申南特种气体有限公司、大连大特气体有限公司、联雄投资(上海)有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司、昊华气体有限公司、衢州氟硅技术研究院、福建久策气体股份有限公司、天津绿菱气体有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、和立气体（上海）有限公司、西南化工研究设计院有限公司、西南化工研究设计院有限公司双流分公司、

起草人

史婉君、 张建君、 付梦月、 侯玲玲、 谭慧、 褚人财、 曹素英、 傅铸红、 程紧、 叶相平、 陈洁、 吴靓、 何波、 黄小强、 王大为、 易达文、 梁成科、 高静、 徐娇、 叶树全、 周鹏云、 张亮、 方小青、孙福楠、郑秋艳、董云海、颜光清、何经余、陈艳珊、马建修、王新喜、孙猛、方华、孙赟珑、黄辉、宫兵、李阳、梁永强、吴克安、白占旗、赖晓峰、方艾黎、

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