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GB/T 29557-2013 表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量

GB/T 29557-2013 表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量

Surface chemical analysis - Depth profiling - Measurment of sputtered depth

GB/T 29557-2013

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标准GB/T 29557-2013标准状态

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  • 标准名称：表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量
  • 标准号：GB/T 29557-2013
    中国标准分类号：G04
  • 发布日期：2013-07-19
    国际标准分类号：71.040.40
  • 实施日期：2014-03-01
    技术归口：全国微束分析标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：化工技术分析化学化学分析

内容简介

国家标准《表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了溅射深度剖析中测量溅射深度的准则。本标准适用于结合离子轰击剥离部分固体样品的表面化学分析技术,通常溅射深度可达几微米。

起草单位

中山大学、中国科学院大连化学物理研究所、浙江大学、

起草人

陈建、 张训生、 张卫红、 盛世善、 谢方艳、龚力、

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