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GB/T 30901-2014 高纯氟化铵溶液

GB/T 30901-2014 高纯氟化铵溶液

High purity ammonium fluoride solution for industrial use

GB/T 30901-2014

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标准GB/T 30901-2014标准状态

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  • 标准名称：高纯氟化铵溶液
  • 标准号：GB/T 30901-2014
    中国标准分类号：G12
  • 发布日期：2014-07-08
    国际标准分类号：71.060.50
  • 实施日期：2014-12-01
    技术归口：全国化学标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：中国石油和化学工业联合会
  • 标准分类：化工技术盐无机化学

内容简介

国家标准《高纯氟化铵溶液》由TC63（全国化学标准化技术委员会）归口，TC63SC1（全国化学标准化技术委员会无机化工分会）执行，主管部门为中国石油和化学工业联合会。
本标准规定了高纯氟化铵溶液的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输、贮存和安全。 本标准适用于高纯氟化铵溶液。该产品主要应用于集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻等行业。

起草单位

浙江凯恒电子材料有限公司、鹰鹏集团/宣城亨泰化工科技有限公司、中海油天津化工研究设计院等、福建省邵武市永飞化工有限公司、巨化集团技术中心、

起草人

田志扬、 赵晓亚、 张红英、 周鹏鹏、 万群平、林益兴、

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