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SJ/T 11554-2015 用电感耦合等离子体发射光谱法测定氢氟酸中金属元素的含量

SJ/T 11554-2015 用电感耦合等离子体发射光谱法测定氢氟酸中金属元素的含量

SJ/T 11554-2015

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标准详情

  • 标准名称：用电感耦合等离子体发射光谱法测定氢氟酸中金属元素的含量
  • 标准号：SJ/T 11554-2015
    中国标准分类号：L90
  • 发布日期：2015-10-10
    国际标准分类号：31.030
  • 实施日期：2016-04-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：工业和信息化部
  • 标准分类：电子学电子技术专用材料SJ 电子电子

内容简介

行业标准《用电感耦合等离子体发射光谱法测定氢氟酸中金属元素的含量》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了采用电感耦合等离子体发射光谱(ICP-OES)测定氢氟酸中金属元素的试验方法。本标准适用于电子工业用氢氟酸中微量金属元素如钠(Na)、镁(Mg)、铝(Al)、钾(K)、钙(Ca)、钛(Ti)、钒(V)、铬(Cr)、锰(Mn)、铁(Fe)、钴(Co)、镍(Ni)、铜(Cu)、锌(Zn)、砷(As)、锶(Sr)、银(Ag)、镉(Cd)、锡(Sn)、锑(Sb)、钡(Ba)、铅(Pb)的测定。本标准适用于微量测定，推荐测定元素的浓度范围为0.01mg/L～1mg/L。应用本标准测定的电感耦合等离子体发射光谱仪(ICP-OES)应有较好

起草单位

苏州晶瑞化学有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院等、同济大学、

起草人

刘兵、钱森林、王洪华、

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