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SJ/T 10479-2016 自动砂轮划片机

SJ/T 10479-2016 自动砂轮划片机

SJ/T 10479-2016

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标准SJ/T 10479-2016标准状态

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标准详情

  • 标准名称：自动砂轮划片机
  • 标准号：SJ/T 10479-2016
    中国标准分类号：L95
  • 发布日期：2016-01-15
    国际标准分类号：31-550
  • 实施日期：2016-06-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：代替SJ/T 10479-1994
    主管部门：工业和信息化部
  • 标准分类：电子学电子产品生产设备SJ 电子电子

内容简介

行业标准《自动砂轮划片机》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了自动砂轮划片机(划片过程自动化，以下简称“划片机”)的技术要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存等。本标准适用于切割分离硅片的划片机，产品也可以用于切割分离石英、玻璃、陶瓷、铌酸锂、砷化镓和磁钢等脆硬材料。

起草单位

沈阳仪表科学研究院有限公司、晶能光电（江西）有限公司等、国家仪器仪表元器件质量监督检测中心、

起草人

张仕卿、曾艳丽、刘光恒、

相近标准

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