SJ/T 11576-2016 喷雾式涂覆设备通用规范_标准下载

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SJ/T 11576-2016 喷雾式涂覆设备通用规范

SJ/T 11576-2016

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标准SJ/T 11576-2016标准状态

发布于：2016-01-15
实施于：2016-06-01
废止

标准详情

标准名称：喷雾式涂覆设备通用规范
标准号：SJ/T 11576-2016
中国标准分类号：L95
发布日期：2016-01-15
国际标准分类号：31-550
实施日期：2016-06-01
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
代替标准：
主管部门：工业和信息化部
标准分类：电子学电子产品生产设备 SJ 电子电子

内容简介

行业标准《喷雾式涂覆设备通用规范》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本规范规定了喷雾式涂覆设备(以下简称“设备”)的术语和定义、产品分类、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存及使用说明书等。本规范适用于半导体分立器件与集成电路制造过程中，在基片表面通过喷雾式涂覆形成均匀胶膜的设备。

起草单位

沈阳芯源微电子设备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、

起草人

贺立波、徐春旭、汪明波、

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