当前位置：标准网 行业标准

SJ/T 11576-2016 喷雾式涂覆设备通用规范

SJ/T 11576-2016 喷雾式涂覆设备通用规范

SJ/T 11576-2016

行业标准-SJ 电子推荐性
收藏报错

标准SJ/T 11576-2016标准状态

  1. 发布于：
  2. 实施于：
  3. 废止

标准详情

  • 标准名称：喷雾式涂覆设备通用规范
  • 标准号：SJ/T 11576-2016
    中国标准分类号：L95
  • 发布日期：2016-01-15
    国际标准分类号：31-550
  • 实施日期：2016-06-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：工业和信息化部
  • 标准分类：电子学电子产品生产设备SJ 电子电子

内容简介

行业标准《喷雾式涂覆设备通用规范》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本规范规定了喷雾式涂覆设备(以下简称“设备”)的术语和定义、产品分类、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存及使用说明书等。本规范适用于半导体分立器件与集成电路制造过程中，在基片表面通过喷雾式涂覆形成均匀胶膜的设备。

起草单位

沈阳芯源微电子设备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、

起草人

贺立波、徐春旭、汪明波、

相近标准

JB/T 12451-2015 喷雾式动物防疫消毒机 技术条件
LY/T 2685-2016 航空静电喷雾设备应用技术规范
MT/T 164-2019 矿用涂覆布风筒通用技术条件
DB37/T 1009-2008 灌浆涂覆型薄膜通用技术条件
SJ/T 11130-1997 编织设备通用规范
SJ/T 11184-1998 显影设备通用规范
MT 503-1996 光控自动喷雾降尘装置通用技术条件
MT 504-1996 触控自动喷雾降尘装置通用技术条件
MT/T 503-2019 光控自动喷雾降尘装置通用技术条件
MT 505-1996 声控自动喷雾降尘装置通用技术条件

* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，版权归原作者所有，如侵犯您的权益，请联系我们处理。

标准网本地下载
  • 标准质量：

    • 下载说明

  • ① 欢迎分享本站未收录或质量优于本站的标准，期待。
    ② 标准出现数据错误、过期或其它问题请点击下方「在线纠错」通知我们，感谢！
    ③ 本站资源均来源于互联网，仅供网友学习交流，若侵犯了您的权益，请联系我们予以删除。
  • 在线纠错
    • 标准过期 下载问题 模糊有误 其它问题

    「相关推荐」