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YS/T 1141-2016 钛蒸发料

YS/T 1141-2016 钛蒸发料

YS/T 1141-2016

行业标准-YS 有色金属推荐性
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标准YS/T 1141-2016标准状态

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标准详情

  • 标准名称：钛蒸发料
  • 标准号：YS/T 1141-2016
    中国标准分类号：H64
  • 发布日期：2016-07-11
    国际标准分类号：77.150
  • 实施日期：2017-01-01
    技术归口：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)
  • 代替标准：
    主管部门：工业和信息化部
  • 标准分类：冶金有色金属产品钛产品YS 有色金属

内容简介

行业标准《钛蒸发料》，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了钛蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与合同(或订货单)内容。本标准适用于半导体行业用的钛蒸发料。

起草单位

有研亿金新材料有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所

起草人

张涛、刘书芹、何金江、万小勇、徐学礼、罗俊锋、丁照崇、王越、高岩、刘冬青、吴艳华

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