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JB/T 5630-1991 半导体器件扩散炉 能耗分等

JB/T 5630-1991 半导体器件扩散炉 能耗分等

JB/T 5630-1991

行业标准-JB 机械推荐性
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标准详情

  • 标准名称:半导体器件扩散炉 能耗分等
  • 标准号:JB/T 5630-1991
    中国标准分类号:J00
  • 发布日期:2017-05-12
    国际标准分类号:21-010
  • 实施日期:1992-07-01
    技术归口:
  • 代替标准:
    主管部门:机械电子工业部
  • 标准分类:机械系统和通用件机械JB 机械

内容简介

行业标准《半导体器件扩散炉能耗分等》,主管部门为机械电子工业部。

起草单位

起草人

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