SJ 20514A-2018 微波功率晶体管用硅外延片规范_标准下载

SJ 20514A-2018 微波功率晶体管用硅外延片规范

行业标准-SJ 电子强制性

本规范规定了微波功率晶体管用硅外延片(以下简称外延片)的要求、质量保证规定、交货准备和说明事项。本规范适用于微波功率晶体管用直径为76.2mm~200mm的同质外延片的设计、制造、检验，其它半导体分立器件同质外延片也可参照执行。

中国电子科技集团公司第十三研究所、河北普兴电子科技股份有限公司

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