SJ 21122-2016 PVTSiC76SI1-BP01型碳化硅单晶抛光片规范
SJ 21122-2016
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标准SJ 21122-2016标准状态
- 发布于：2016-01-19
- 实施于：2016-03-01
- 废止
内容简介
本规范规定了PVTSiC76SI1-BP01型碳化硅单晶抛光片要求、质量保证规定及交货准备等。本规范适用于PVTSiC76SI1-BP01型碳化硅单晶抛光片(以下简称碳化硅晶片)。
起草单位
中国电子科技集团公司第四十六研究所
起草人
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