SJ 21259-2018 抛光设备工艺验证方法_标准下载

SJ 21259-2018 抛光设备工艺验证方法

行业标准-SJ 电子强制性

本标准规定了抛光设备工艺验证的一般要求、验证条件和验证方法等内容。本标准适用于机械抛光、化学抛光、化学机械抛光等平面抛光设备工艺性能的验证。

中国电子科技集团公司第四十八研究所

蒋超、吕文利、朱宗树、刘咸成、隋红林

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