SJ 21199-2016 卧式等离子体增强化学气相淀积(PECVD)设备工艺验证方法_标准下载

SJ 21199-2016 卧式等离子体增强化学气相淀积(PECVD)设备工艺验证方法

行业标准-SJ 电子强制性

本标准规定了卧式等离子体增强化学气相淀积(PECVD)设备工艺性能的验证方法。本标准适用于卧式等离子体增强化学气相淀积(PECVD)设备(以下简称PECVD设备)工艺性能的验证。

中国电子科技集团公司第四十八研究所

许波涛、易文杰、胡晓宇、孙雪平、王迪平

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