SJ 21478-2018 磷化铟单晶生长工艺技术要求_标准下载

SJ 21478-2018 磷化铟单晶生长工艺技术要求

行业标准-SJ 电子强制性

本标准规定了军用磷化铟单晶生长工艺的人员、环境、安全、材料、设备和仪器等一般要求，以及磷化铟单晶生长工艺的典型工艺流程、各工序技术要求、检验要求等详细要求。本标准适用于液封直拉法(LEC)和垂直梯度凝固法(VGF)磷化铟单晶生长工艺。

中国电子科技集团公司第十三研究所

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